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【项目小结】
半导体材料受到应力作用时,其电阻率会发生变化,这种现象称为压阻效应。实际上,任何材料都不同程度地呈现压阻效应,但半导体材料的这种效应特别明显。
半导体压阻效应不同于金属应变效应。半导体电阻随压力的变化主要取决于电阻率的变化,而金属应变效应电阻的变化则主要取决于几何尺寸的变化(应变),而且前者的灵敏度比后者大50~100倍。
利用压阻效应制成的电阻称为固态压敏电阻,也叫力敏电阻。用压敏电阻制成的器件有两类:一种是利用半导体材料制成粘贴式的应变片;另一种是在半导体的基片上采用集成电路工艺制成扩散性压敏电阻,用它作为传感器元件制成的传感器称为固态压阻传感器,也叫扩散型压阻式传感器。